Założycielem Zgromadzenia jest Św. o. Arnold Janssen. Pierwszymi Służebnicami, które włączyły się do współpracy z Ojcem Założycielem były Matka Maria, Helena Stollenwerk i Matka Józefa, Hendrina Stenmanns. Obie współzałożycielki poprzez życie pełne trudów i cichych ofiar położyły mocny fundament pod przyszłe Zgromadzenie, które powstało w Holandii, w maleńkiej miejscowości Steyl, nad rzeką Mozą
8 XII 1889 roku.
Po długoletnich trudach, w roku 1875, o. Arnold Janssen założył pierwszy Dom Misyjny, dając w ten sposób początek Zgromadzeniu Słowa Bożego. Rok wcześniej w wydawanym przez siebie czasopiśmie misyjnym zamieścił notatkę o konieczności zaangażowania kobiet na terenach misyjnych. Uważał, że w dwóch wypadkach mają one przewagę nad misjonarzami: nie dostrzega się w nich tak łatwo jak w mężczyznach przedstawicieli obcej władzy, a nadto szybciej przychodzi im zdobyć sympatię i zyskać zaufanie ludzi. Wcześniej też zdobywają sobie rodzime powołania. Wychowanie żeńskiej młodzieży na chrześcijański matki jest warunkiem dobrych rodzin, z których potem można oczekiwać rodzimych powołań kapłańskich.
Pierwsza zaufała o. Janssenowi Helena Stollenwerk z miejscowości Rollesbroich położonej w górach Eifle. Liczyła na to, że założy on żeńskie zgromadzenie przeznaczone do wyłącznej pracy misyjnej. Już w dzieciństwie jej spojrzenia i myśli sięgały ponad rodzinne pola i zwracały się ku dalekim Chinom. W myślach o nich Helena odnajdywała zarazem pokój i niepokój. Ogarnięta wielkim pragnieniem niesienia pomocy w szerzeniu wiary nie brała pod uwagę faktu, że jest spadkobierczynią domu i gospodarstwa. Po przybyciu do Steylu długie lata oczekiwania, spędzone w służbie dla Domu Misyjnego, nie zdołały zgasić w niej pragnienia zostania siostrą misyjną.
Podobna postawa cechowała Hendrinę Stenmanns z Issum w Nadrenii, która przyłączyła się do Heleny kierując się tym samym celem. Obie uchodzą w historii Zgromadzenia Sióstr Misyjnych za współzałożycielki, gdyż dzielą wespół z o. Arnoldem charyzmat misyjny, są jak Założyciel pełne gotowości, czujne i otwarte na działanie Ducha Świętego. U boku o. Arnolda i razem z nim wrastały w głąb swego powołania stając się fundamentem, na którym będą mogły dalej budować ich następczynie. 8 grudnia 1889 roku Zgromadzenie Misyjne Służebnic Ducha Świętego zostało założone, a w roku 1892 mógł już o. Arnold Janssen wręczyć pierwszym siostrom habity. Dwa lata później, 1894 roku, dwanaście z nich złożyło pierwsze śluby zakonne. Młode Zgromadzenie zaczęło się rozwijać. Po wczesnej śmierci Matki Marii (1900) i Matki Józefy (1903) wielką organizatorką młodej wspólnoty stała się Matka Teresa Messner z Tyrolu (1868-1940), której przypadło w udziale jeszcze niejedno zadanie, podejmowane zazwyczaj przez założycielki.
Już rok po złożeniu ślubów -1895- pierwsza grupa sióstr misyjnych wyjechała do Argentyny. Niebawem nastąpiło przejęcie pracy w Togo (1897), na Nowej Gwinei (1899), w Ameryce Północnej (1901), w Brazylii (1902), w Chinach (1905), Japonii (1908), w Mozambiku (1912) i na Filipinach (1912). Dziesięć lat po pierwszej profesji 93 siostry pracowały już na terenach misyjnych. Na wspólnocie sióstr odzwierciedlały się radości i cierpienia misji w świecie. Siostry na równi w pierwszymi misjonarzami doświadczały trudów, które towarzyszyły początkom pracy misyjnej, uczestniczyły w zakładaniu wspólnot chrześcijańskich i w ogólnym postępie młodych narodów.
Im więcej dokonywało się w tym czasie na misjach, tym bardziej musiały być rozbudowane ośrodki w ojczyźnie, aby umożliwić przyjmowanie i kształcenie kandydatek oraz stworzyć odpowiednie podstawy finansowe. I tak, z czasem, dla powołań z obszaru niemieckiego, oprócz domu macierzystego w Steylu, powstała Prowincja Północnoniemiecka oraz Południowoniemiecka. Zgromadzenie zapuściło również korzenie w innych krajach europejskich, gdzie powstały prowincje zakonne z własnymi nowicjatami: w roku 1931 w Czechosłowacji, w 1933 w Anglii, w 1937 we Włoszech, w 1942 w Szwajcarii, w 1943 na Węgrzech i w 1945 w Polsce. Na początku XX wieku utworzono dom formacyjny w Ameryce Północnej.
Prowincje na terenach misyjnych powiększały się również przez zakładanie filii. W Chinach obok Szantungu przejęto teren Wschodniego i Zachodniego Kansu w roku 1924 oraz Honan w roku 1926. W Indonezji do istniejących palcówek na wyspie Flores i Timor doszła misja na wyspie Jawie, a obecnie także na wyspie Kalimantan (dawna nazwa Borneo), gdzie istnieje już kilka stacji misyjnych. W roku 1933 siostry przybyły także do Indii, a w rok później do Chile.
W roku swojego złotego jubileuszu – 1939 – Zgromadzenie liczyło ponad 3000 sióstr pracujących na 195 placówkach w 18 krajach.
Wśród członkiń było ponad 500 rodzimych sióstr.
II wojna światowa uczyniła na terenach misyjnych jeszcze większe spustoszenie niż pierwsza. Nie było prawie obszaru, którego bezpośrednio nie dotknęłyby działania wojenne. Większość śmiertelnych ofiar wśród sióstr pochłonęła Papua Nowa Gwinea. W Indonezji znaczna liczna sióstr została w ostatnich latach wojny internowana. Nadto obie misje poniosły poważne straty materialne. Sytuacja z lat wojny światowej, z jaką spotkały się misjonarki afrykańskie (konieczność opuszczenia Togo i Mozambiku), powtórzyła się po zakończeniu II wojny światowej na Dalekim Wschodzie. W wyniku decyzji komunistycznego rządu w Chinach ponad 200 sióstr musiało opuścić misje w tym kraju. Powróciły do swoich krajów ojczystych lub podjęły pracę na innych terenach misyjnych.
W latach II wojny światowej założono tylko jedną nową placówkę – w roku 1940 dom w Australii. Bezpośrednio po ukończeniu II wojny światowej, w roku 1945, siostry podjęły na nowo pracę misyjną na terenie Afryki, w Ghanie, gdzie w międzyczasie utworzono prowincję. W roku 1982 Zgromadzenie rozpoczęło swoją działalność misyjną w Angoli, w 1983 w Botswanie. W ten sposób zapuściło ono swoje korzenie już na wszystkich kontynentach.
O założeniu Domu Misyjnego na ziemiach polskich myślał już św. Założyciel mając na uwadze szczególne zdolności językowe Polaków, zwłaszcza do nauczenia się języka chińskiego. W tym też celu założył w Nysie na Śląsku w roku 1892 Dom Misyjny Św. Krzyża. Pierwsza placówka Sióstr Misyjnych na terenie Polski, mająca być w przyszłości domem formacyjnym dla polskich sióstr, znajdowała się w Rybniku. Placówka została zlikwidowana w roku 1939 z chwilą rozpoczęcia działań wojennych.
W pobliskim Raciborzu, należącym jeszcze wówczas do Rzeszy Niemieckiej, istniał od roku 1921 klasztor „Annuntiata”, podległy Prowincji w Austrii i przeznaczony na prowadzenie działalności rekolekcyjnej. Powojenne granice Polski objęły także Racibórz, siostry rozpoczęły więc swoją działalność już na polskiej ziemi. W roku 1967 pierwsza grupa polskich sióstr wyjechała na misje.
Pierwsze lata po zakończeniu II wojny światowej upłynęły na odbudowie i przystosowaniu działalności do nowych warunków. W miarę napływu środków finansowych z Europy i Ameryki, praca misyjna systematycznie rozwijała się i stabilizowała. Szczególny akcent położono na kształcenie szerokich mas, spragnionych podstawowej wiedzy i warunków rozwoju. Stworzenie rozległych możliwości kształcenia pozwoliło siostrom misyjnym, obok wielu od dawna prowadzonych prac, na skuteczne przejęcie tej najpilniejszej – kształcenie rodzimych sióstr, pomocników i pomocnic świeckich. Rodzimy kler jest wyraźnym znakiem aktywnego życia religijnego miejscowych Kościołów, dlatego jego formacja ma doniosłe znaczenie.